建设项目的背景
某大半导体技术研制各个企业处于长半圆位置,注意的生育晶圆和存储芯片。在的生育时候中,晶圆切割器和打磨分阶段导致大批抛光液废水处理方法,每日进行用水量下跌约50吨。是由于废水处理方法中含高浓硫酸浓度悬屏物、金属材质阴离子及有机的获取剂,间接进行排卸会对周围环境导致的为严重生态破坏,各个企业急要投建专业的处理的设施。
工业废水因素及渠道
研磨拋光液污水最主要来自于晶圆鑫霖环保中的催化机械设备制造拋光(CMP)工作,最主要生态破坏物涵盖:
悬浮物粒状物
:二腐蚀硅、腐蚀铝等考虑粒状,孔径在0.1-1μm,密度可以达到2000mg/L。
五金阳离子
:铜、铁、锌等,源自镜面抛光垫变形及晶圆表明合金层,铜阴阳离子盐浓度约50mg/L。
设计填加剂
:主要包括表面上可溶性剂、阻垢剂等,COD值在800-1200mg/L。
酸pH性类物质
:pH值下跌大,一般性在2-11两者之间。
治理 加工环节
面向工业废水形态,用到“预办理+生物化+深度.办理”組合工序:
的调节池
:动态平衡土质容量,填加强酸强碱改善pH至普通。
沥青混凝土沉积
:加药系统PAC(整合氯化铝)和PAM(pp聚丙烯酰胺),快速清理浮动物和氢氧化铁,沉降后SS快速清理率>90%。
离子液体氧化反应
:用Fenton生化试剂(H₂O₂+Fe²⁺)光降解生物碳插入剂,COD出掉率达60%。
海洋生物整理
:MBR膜生物体反應器进一大步溶解乘余生物碳物,COD减少为100mg/L下例。
化合物交流
:专用型硅胶粘合剂离心分离铜阴阳离子,喷水铜含量的<0.5mg/L。
砂滤+抗逆性炭滤水
:加强组织领导溢水澄澈,符合《脏水综上排放口规定》(GB8978-1996)1级规定。
不可能成果
模式启用安全后:
SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜正离子<0.3mg/L。
使用率达40%,乘余达到释放,年削减废气释放1.20万吨。
正确处理总成本约15元/吨,远少于的行业月均。