某半导体芯片厂在生產全过程中操作硝酸钠系显影液液,所产生高氧浓度含NOx废渣,日治疗量50吨。废渣中含NO2-高达hg2000mg/L,且富含氢化物发生器有机化学光刻胶有效成分,治疗困难很高。
2. 化工废水成份及由来
成像制作工序废气(基本影响源)
晶圆清理废水处理工艺
有机废气洗洁塔排水沟
3. 加工加工制作工艺 的流程
分为"高等 氧化反应+二级动物除理"去创新新工艺:
老化腐蚀
:完成臭氧的危害遭受器造成O3,将难降解塑料有机的物分解成为小分子结构有机物,同时将NO2-氧化的为NO3-。
动物膜发应器(MBR)
:
一是级:缺氧游戏环境下加药系统甲醇当作碳源,力促反水解酸化发生反应
第二种级:好氧怪物膜加强组织领导骤可降解可挥发物
化学工业广度补救
:借助钛基表层探针,借助电解法功效恢复原状被分解转换成残余物生态破坏物。
4. 决定视觉效果
NOx总氮降低8mg/L下述
COD维持在30mg/L之内
电镀废水回收率达60%
系统化操作用电量把控在3.5kWh/吨水,较传统性加工环保20%。