该厂为84英寸晶圆生产加工线设施的超注射用水平台,每一刻带来含硅污废水 150吨。污废水 中虽无高价属,但硅纯度高易水垢,且阻值率需到18MΩ·cm才行使用。改变清工院艺难以需要满足新颁布实施的《電子制造业水被挥发性有机物的排放标淮标淮》(GB39731-2020)越来越的排放标淮最大限度。
化工废水材料优点
重点破坏物
:悬浊液硅(200-300mg/L)、粉末硅(颗粒直径0.1-1μm)
特异规范
:TOC<10μg/L,硼份量<5μg/L
水体性能特点
:低水的电导率(<50μS/cm)但硅类化合物形式比较复杂
外理技艺流程步骤
特色化主要采用"梯级膜分开+电去亚铁离子"组和技艺:
微滤预加工
:1μm瓷质膜屏蔽短信大粒状硅,通量保证80LMH
化合物置换不饱和树脂
:D201大孔不饱和树脂记忆性吸硅酸碳原子
二级考试RO系统软件
:然后段再利用率60%,然后段所采用高脱硼膜组件
EDI电去化合物
:直流电密度单位2A/m²,定期彻底清除残余物阳离子
UV紫外线除臭
:254nm紫外光线使用量40mJ/cm²
系统重点
制作专用的阻硅剂(生物碳胺类pp物),推迟膜生态破坏时间段3倍
EDI引擎企业创新流道制定,硅取除率大幅提升至99.8%
在线平台硅讲解仪(测定面积0.1-500μg/L)变现正确操作
开机运行效果
经第三点方检侧:
总硅从280mg/L低于0.05mg/L
硼量从8μg/L低于0.3μg/L
体系回收公司率从原40%提高自己至68%
膜换新频次延时至5年,年启动代价有效降低35%