某半导体设备集成块制作厂在晶圆加工厂过程中中，的使用硅烷确定硅外延性种子发芽，尾气排放洗洁塔产生高密度含硅废气。废气有pH起伏较大大（2-11）、硅水分含量高的特征，普通除理技术易会出现硅垢梗塞的问题。 污水的成分及起源 废水处理工艺关键因素为： 可溶性高，溶于水的性硅酸盐 ：SiO₂密度达1000-1500mg/L 盐酸/氢氧化反应钠 ：洗條塔酸碱性洗條液残留物 颗料硅 ：纳米级级SiO₂橡胶胶体部分 痕量砷 ：原辅材料不溶物带进去 补救工艺步骤流程步骤流程 不断创新采用了"有级采和+膜过滤系统+蒸发掉心得"施工工艺： 二级与 ：用CaO缓解pH至4-5，提取硅酸钙凝固，硅消除率60%。 两级与 ：加Na₂CO₃将pH提高至9，进一次析出剩余时间硅，电容串联用镁剂除砷。 反渗透膜系统的 ：0.02μm瓷器膜吸附納米级硅粒状，通量保持稳定在80LMH。 MVR减压蒸馏器 ：原谅我真的喝醉了 因为我真的想你的 一不小心 我知道这样不应该 对你泰国依赖 高盐生活污水，析出出Na₂SO₄副货品，水回收率超90%。 终于感觉 总硅从1500mg/L降到5mg/L一下 砷占比从0.8mg/L降到0.01mg/L 系统化无积灰运动多于2年 历年收废硫酸钠钠尖晶石约800吨