某半导体芯片制造厂公司企业因晶圆拆洗多种工序有含氨废液，供水量200吨/天。废液中除化学需氧量外还包含的氟化物和微量分析高价属，治理 一定难度大。是时间污染物符合要求符合要求化学需氧量＜5mg/L，氟化物＜3mg/L。 生活污水物质及渠道 晶圆洗掉废水处理方法（主耍來源）：含氯离子200-300mg/L，氟化物50-80mg/L 刻蚀工步污水：含少量铜、镍等天价属，pH值动荡大 CMP研磨设备废渣：含硅小粒及氟化物 处里加工制作工艺 具体步骤 应用"化学物质沉垫+膜分割+折点氯化"組合加工制作工艺 ： 预正确处理 ：污泥脱水CaCl2除氟，控制pH在7.5-8. 反渗透膜操作系统 ：的还原0.01μm以上的颗粒剂物 反渗透膜法精浓 ：将高锰酸盐指数浓缩咖啡至1000mg/L上面 折点氯化 ：高精度操控氯污泥脱水量，将化学需氧量转换成为氦气 阴离子置换 ：切实保障血本属符合标准 进而特效 氧化还原电位比较稳定＜3mg/L，氟化物＜1mg/L 高价属水平降至检查测量限 水回收利用率达75% 飞灰产生量减轻40%