重庆某半导电源芯片造成厂,晶圆治理时中呈现含硅、氟的特种废液,开发治理数量1200吨/日。废液成分表繁琐,有nm级硅颗粒状及盐酸,民俗治理技术得以符合标准。
电镀废水材质及特征
核心废弃物物
:悬浊液硅(100-500nm比表面积)、氟化合物(200-300mg/L)、异丙醇
來源流程
:晶圆刻蚀废污水(45%)、CMP化学反应自动化机械打磨废污水(40%)、设施情况呢水(15%)
除理的工艺注意事项
科技创新采取"催化凝固+特种工艺膜转移"科技行车路线:
钙盐奠定
:加药氯化钙剔除氟铝离子(提取CaF2沉定)
二沉池反响
:包覆二沉池剂控制电解质溶液硅脱稳
管式微滤
:0.1μm口径膜挪作他用微细顆粒
反渗透装置性和机系统
:脱盐率>98%,的回收利用率75%
蒸发器析出
:浓水段保持氟化物零进行排放
之后治疗效果
氟化物酸度:<8mg/L(不低于发展中实力强大的通过成绩的标准10mg/L)
硅纯度:<5mg/L
水产品回收率:70%用在放凉塔皮肤补水
危险废物减掉:减压蒸馏残留量较民俗加工制作工艺 减掉60%